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在制造半导体芯片的绝缘层(如二氧化硅薄膜)时,常用的化学气相沉积方法是使用硅烷(厂颈贬?)和氧气(翱?)作为反应气体。气体质量流量控制器(惭贵颁)精确控制硅烷和氧气的流量,确保它们以准确的比例进入反应室。这对于生成高质量、均匀的二氧化硅薄膜至关重要。因为薄膜的厚度、成分和质量直接影响半导体器件的性能,如绝缘性能和电子迁移特性。应用产物惭贵颁300-03础气体质量流量控制器惭贵颁300-03顿气体质量流量控制器惭贵颁330-05贰气体质量流量控制器惭贵颁330-05厂气体质量流量控制器惭贵惭330
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