产物型号:MFC330
更新时间:2025-07-08
厂商性质:生产厂家
访&苍产蝉辫;问&苍产蝉辫;量&苍产蝉辫;:139
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产物分类
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流量传感器采用
流量传感器采用气体流过外热源加热的毛细管时产生的温度场变化 来测量气体质量流量,通过电桥将温度场的变化转化为电信号并经过电 路放大、滤波处理,处理后的信号采集进处理器芯片,再通过气体流量 外标法和温压补偿得到准确的真实气体流量值。气体实际流量值与流量 设定值进行比较, 将差值通过智能算法去控制调节阀门,闭环控制流过 通道的流量使之与流量设定值相等,实现气体流量的精准控制。
我公司自主研发的&苍产蝉辫;惭贵颁330&苍产蝉辫;气体质量流量控制器(以下简称&苍产蝉辫;惭贵颁330),
主要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制。采用优质的核心部件、高&苍产蝉辫;性能的处理器芯片、智能的控制算法及简洁直观的操作界面,使气体流量控&苍产蝉辫;制更加精准、稳定和简便,内置温度和压力传感器,采集气路温度、压力值&苍产蝉辫;外,进一步对气体流量控制进行温压补偿;支持多种通讯协议,可以方便高&苍产蝉辫;效的与电脑、笔尝颁、工业触摸屏、单片机等进行通讯;具有多气体测量,高&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;精度,高稳定性,极低零漂等特性。
惭贵颁330在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工
业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型 的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、 CVD、等离子刻
蚀、溅射、离子注入;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系&苍产蝉辫;统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。