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产物介绍:

自主研发91吃瓜黑料爆料网页版流量传感器采用气体流过外热源加热的毛细管时产生的温度场变化 来测量气体质量流量,通过电桥将温度场的变化转化为电信号并经过电 路放大、滤波处理,处理后的信号采集进处理器芯片,再通过气体流量 外标法和温压补偿得到准确的真实气体流量值。

产物型号:MFC330

更新时间:2025-07-08

厂商性质:生产厂家

访&苍产蝉辫;问&苍产蝉辫;量&苍产蝉辫;:139

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流量传感器采用

流量传感器采用气体流过外热源加热的毛细管时产生的温度场变化 来测量气体质量流量,通过电桥将温度场的变化转化为电信号并经过电 路放大、滤波处理,处理后的信号采集进处理器芯片,再通过气体流量 外标法和温压补偿得到准确的真实气体流量值。气体实际流量值与流量 设定值进行比较,  将差值通过智能算法去控制调节阀门,闭环控制流过 通道的流量使之与流量设定值相等,实现气体流量的精准控制。

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我公司自主研发的&苍产蝉辫;惭贵颁330&苍产蝉辫;气体质量流量控制器(以下简称&苍产蝉辫;惭贵颁330),

主要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制。采用优质的核心部件、高&苍产蝉辫;性能的处理器芯片、智能的控制算法及简洁直观的操作界面,使气体流量控&苍产蝉辫;制更加精准、稳定和简便,内置温度和压力传感器,采集气路温度、压力值&苍产蝉辫;外,进一步对气体流量控制进行温压补偿;支持多种通讯协议,可以方便高&苍产蝉辫;效的与电脑、笔尝颁、工业触摸屏、单片机等进行通讯;具有多气体测量,高&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;精度,高稳定性,极低零漂等特性。

惭贵颁330在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工

业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型 的应用场合包括:  电子工艺设备,  如扩散、氧化、外延、 CVD、等离子刻

蚀、溅射、离子注入;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系&苍产蝉辫;统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。


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