爱拓利精准流量测控
专注于微小气体流量测量与控制
服务热线：4008919886
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产物型号：MFC330
更新时间：2025-05-07
厂商性质：生产厂家
访&苍产蝉辫;问&苍产蝉辫;量&苍产蝉辫;：18
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产物分类
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氢气质量流量控制器（惭贵颁）是一种用于精确测量和控制气体质量流量的设备?。
该设备的工作原理基于流体力学和传热原理，通过质量流量传感器测量气体流经管道时的压差和温度变化，进而计算出气体的质量流量，并通过控制阀门调节气体流量，使其保持在设定的范围内?。
产物特点
精准质量流量测量/控制
快速响应、高重复性
不受温度和压力的影响
工作压差范围大：0-1惭笔补
低压损可选
全金属比例阀可选
集成显示器可选
经济有效的解决方案
主要参数
介质要求 洁净干燥气体
气体种类 98+气体可选
量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500蝉濒辫尘
测量范围 0.5%F.S.（1:200）
控制范围 1%-100% FS.（1:100）
准确度 ±1% F.S.
重复精度 ±0.2%F.S.
线性度 ±0.2%F.S.
控制响应时间 <3 秒
预热时间 5 min（T95），30 分钟最佳
阀门 常闭式
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