爱拓利精准流量测控
专注于微小气体流量测量与控制
服务热线：4008919886
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产物型号：MFC330
更新时间：2025-04-23
厂商性质：生产厂家
访&苍产蝉辫;问&苍产蝉辫;量&苍产蝉辫;：101
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产物分类
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上海气体质量流量控制器厂家MFC330 系列91吃瓜黑料爆料网页版/控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，MFC330 依然能够保持稳定的流量控制。
TECHNICAL PARAMETERS
技术参数 主要参数
介质要求 洁净干燥气体
气体种类 98+气体可选
量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500蝉濒辫尘
测量范围 0.5%F.S.（1:200）
控制范围 1%-100% FS.（1:100）
准确度 ±1% F.S.
重复精度 ±0.2%F.S.
线性度 ±0.2%F.S.
控制响应时间 <3 秒 预热时间
5 min（T95），30 分钟最佳 阀门
常闭式 机械特性
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